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研磨废水处理——电子行业不得不面对的问题

来源:废水回收处理 编辑:废水处理设备 时间:2021-06-16 11:47 点击:

  自90年代以来,全球电子行业蓬勃发展,中国的电子工业历经多年的改革开放,逐渐成为“世界电子产品制造业的加工厂”。2018年,对于我国电子信息制造业电子信息制造业可谓迎难而上谋发展。展望2019年,在摩擦加剧态势下,电子信息制造业面临“外患内忧”的瓶颈局面,增长力度将有所减缓,并亟待聚力创新,打造差异化竞争体系,走向高质量发展。

  作为一项前景十分广阔的新兴高科技产业,电子信息行业被称为我国的“朝阳产业”。其中在晶棒、晶圆的制造过程中,需要经过切割、研磨、划片、减薄、化学研磨平坦化(CMP)等工艺,产品经过清洗后会产生大量的研磨废水。与常规的工业废水不同,研磨废水作为一种高浓度无机废水,其污染物主要为粒径极小且不易沉降的稳定悬浮颗粒、硬度、碱度及少量有机物等。具有清洗废水污染物浓度相对较低,COD质量浓度110~150mg/L,水量较大,呈弱碱性且可生化性差等水质特点。由于研磨制造工艺是电子企业生产过程中的重要环节,所以研磨废水的处理便成了电子企业不得不面对的一个问题。

  研磨废水回收的难点在于低浊度、低含盐量、可溶性硅及不溶性硅等颗粒含量高,采用传统的介质过滤没有办法去除。研磨废水若直接进入膜系统处理会造成膜系统污堵及清洗难以恢复,导致膜系统无法运行。莱特莱德根据研磨废水的特性,合理制定处理工艺,在系统预处理部分结合安拜芮特种药剂,增加PAC及PAM的絮凝效果使水中的少量悬浮物及不溶性硅进行有效去除。合理的预处理工艺搭配膜法分离系统,对研磨废水的处理效果显著,降低后续膜系统的清洗频率,保证膜系统的长期稳定运行。

  工艺流程:

  研磨废水→调节池→一体化净水设备→MMF过滤器→UF装置→反渗透装置→回用至工艺用水

  工艺优势:

  1、特种药剂投加,保证絮凝效果。

  2、微絮凝滤膜技术,出水水质好。

  3、膜系统运行稳定,运行周期长。

  经系统处理后的研磨废水可全部回用于车间前期清洗工序,不但降低了厂区废水对环境的污染,而且有效减少了区域水资源的使用,缓解企业用水。莱特莱德可根据用户要求定制性价比更好的研磨废水处理工艺,从制造到生产确保各工艺环节得到有效控制,循环的生产方式,有效的帮助工业领域的客户提高生产效率、实现清洁生产和节能环保。